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  电子邮件： 我想你可能会对这资料感兴趣，资料在 http://www.worldcat.org/oclc/123539645 题名： MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering 著者： Tai-Ran Hsu 出版商： Hoboken, N.J. : John Wiley, ©2008. ISBN/ISSN: 9780470083017 0470083018 OCLC:123539645

  
  

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