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Details
| Dokumenttyp: | Buch |
|---|---|
| Alle Autoren: |
Jean Berthier; Pascal Silberzan |
| ISBN: | 1580539610 9781580539616 |
| OCLC Nummer: | 61131867 |
| Beschreibung: | xvii, 345 p. : ill. ; 27 cm. |
| Serientitel: | Microelectromechanical systems series. |
| Verfasserangabe: | Jean Berthier, Pascal Silberzan. |
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