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  电子邮件： 我想你可能会对这资料感兴趣，资料在 http://www.worldcat.org/oclc/77476656 题名： Handbook of semiconductor manufacturing technology 著者： Robert Doering; Yoshio Nishi 出版商： Boca Raton : CRC Press, ©2008. ISBN/ISSN: 9781574446753 1574446754 OCLC:77476656

  
  

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