skip to content
Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer Preview this item
ClosePreview this item
Checking...

Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer

Author: Sven Zimmermann
Dissertation: Chemnitz, Techn. Universiẗat, Diss., 2007.
Edition/Format:   Computer file : Thesis/dissertation : GermanView all editions and formats
Rating:

(not yet rated) 0 with reviews - Be the first.

 

Find a copy online

Find a copy in the library

&AllPage.SpinnerRetrieving; Finding libraries that hold this item...

Details

Material Type: Thesis/dissertation, Internet resource
Document Type: Internet Resource, Computer File
All Authors / Contributors: Sven Zimmermann
OCLC Number: 188306582
Description: Online-Ressource
Responsibility: vorgelegt von Sven Zimmermann.

Reviews

User-contributed reviews
Retrieving GoodReads reviews...
Retrieving DOGObooks reviews...

Tags

Be the first.
Confirm this request

You may have already requested this item. Please select Ok if you would like to proceed with this request anyway.

Linked Data


Primary Entity

<http://www.worldcat.org/oclc/188306582> # Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer
    a schema:CreativeWork, bgn:ComputerFile, bgn:Thesis ;
   bgn:inSupportOf "Chemnitz, Techn. Universiẗat, Diss., 2007." ;
   library:oclcnum "188306582" ;
   library:placeOfPublication <http://id.loc.gov/vocabulary/countries/gw> ;
   schema:about <http://dewey.info/class/621.381520284/e22/ger/> ;
   schema:author <http://experiment.worldcat.org/entity/work/data/119307019#Person/zimmermann_sven> ; # Sven Zimmermann
   schema:datePublished "2007" ;
   schema:exampleOfWork <http://worldcat.org/entity/work/id/119307019> ;
   schema:inLanguage "de" ;
   schema:name "Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer"@de ;
   schema:productID "188306582" ;
   schema:url <http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2007/0168> ;
   schema:url <http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2007/0168/data/Dissertation_Zimmermann.pdf> ;
   schema:url <http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=986376264> ;
   umbel:isLike <http://d-nb.info/986376264> ;
   wdrs:describedby <http://www.worldcat.org/title/-/oclc/188306582> ;
    .


Related Entities

<http://experiment.worldcat.org/entity/work/data/119307019#Person/zimmermann_sven> # Sven Zimmermann
    a schema:Person ;
   schema:familyName "Zimmermann" ;
   schema:givenName "Sven" ;
   schema:name "Sven Zimmermann" ;
    .

<http://www.worldcat.org/title/-/oclc/188306582>
    a genont:InformationResource, genont:ContentTypeGenericResource ;
   schema:about <http://www.worldcat.org/oclc/188306582> ; # Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer
   schema:dateModified "2017-12-23" ;
   void:inDataset <http://purl.oclc.org/dataset/WorldCat> ;
    .


Content-negotiable representations

Close Window

Please sign in to WorldCat 

Don't have an account? You can easily create a free account.