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Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen

Author: Percy Heger
Dissertation: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003
Edition/Format:   Thesis/dissertation : Thesis/dissertation : eBook : GermanView all editions and formats
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Details

Genre/Form: Online-Publikation
Material Type: Thesis/dissertation, Internet resource
Document Type: Internet Resource
All Authors / Contributors: Percy Heger
OCLC Number: 722876795
Description: Online-Ressource
Responsibility: vorgelegt von Percy Heger

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