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Détails
| Format physique additionnel : | Online version: Jackson, Mark J. Micro and nanomanufacturing. New York : Springer, c2007 (OCoLC)608115539 |
|---|---|
| Type d’ouvrage : | Ressource Internet |
| Format : | Livre, Ressource Internet |
| Tous les auteurs / collaborateurs : |
Mark J Jackson |
| ISBN : | 9780387258744 0387258744 |
| Numéro OCLC : | 78202883 |
| Description : | x, 699 p. : ill. ; 25 cm. |
| Contenu : | Principles of Micro- and Nanofabrication.- Microfabriaction Using X-Ray Lithography.- Manufacturing High Aspect Ration Microstructures.- Meso-Micromachining.- Mechanical Micromachining.- Microgrinding.- Diamond Micro Cutting Tools.- Laser Micro- and Nanofabrication.- Micromachining Using Water Droplets.- Diamond Nanogrinding.- Nanomachining.- Micro-and Nanomanufacturing. |
| Responsabilité : | Mark J. Jackson. |
| Plus d’informations : |
Résumé :
Offers a treatment of micro and nanofabrication techniques. This book applies laboratory manufacturing techniques to a variety of materials. It helps engineers learn about manufacturing and fabrication techniques at micro and nanoscales and using bulk and surface micromachining techniques and deep x-ray lithography to manufacture semiconductors.
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