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Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung

Author: Roland Sturm
Publisher: Heimsheim Jost-Jetter 2006
Dissertation: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
Series: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>; IPA-IAO-Forschung und Praxis
Edition/Format:   Thesis/dissertation : Thesis/dissertation : GermanView all editions and formats
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Details

Material Type: Thesis/dissertation
Document Type: Book
All Authors / Contributors: Roland Sturm
ISBN: 9783939890034 3939890030
OCLC Number: 180721879
Description: 171 S. graph. Darst. 21 cm, 268 gr
Series Title: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>; IPA-IAO-Forschung und Praxis
Responsibility: Roland Sturm. IFF, Universität Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb ; IPA, Fraunhofer-Institut Produktionstechnik und Automatisierung

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