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Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung

Author: Jan Procházka
Publisher: [S.l.] : [s.n.], 2003.
Dissertation: München, Techn. Universiẗat, Diss., 2003.
Edition/Format:   Computer file : Thesis/dissertation : German
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Details

Genre/Form: Online-Publikation
Material Type: Thesis/dissertation, Internet resource
Document Type: Internet Resource, Computer File
All Authors / Contributors: Jan Procházka
OCLC Number: 76667011
Description: Online-Ressource
Responsibility: Jan Procházka.

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