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Technologie der Grenzflächen an Halbleiter-Leistungsbauelementen mit Silikatglas-Passivierung

Author: Arno Neidig; Georg Wahl; Klaus Weimann
Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, Kernforschungszentrum, 1977 [erschienen] 1978.
Series: Forschungsbericht // Bundesministerium für Forschung und Technologie; Technonologische Forschung und Entwicklung
Edition/Format:   Print book : GermanView all editions and formats
Database:WorldCat
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Details

Document Type: Book
All Authors / Contributors: Arno Neidig; Georg Wahl; Klaus Weimann
OCLC Number: 255972933
Notes: Auf der Haupttitelseite: Juli 1977.
Förderkennzeichen BMFT NT466.
Literaturverz. S. 131 - 134.
Reproduction Notes: Auch Sekundärausg.
Description: 135 S : Ill., graph. Darst.
Series Title: Forschungsbericht // Bundesministerium für Forschung und Technologie; Technonologische Forschung und Entwicklung
Responsibility: von Arno Neidig; Georg Wahl; Klaus Weimann. Brown Boveri & Cie AG, Zentrales Forschungslabor.

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